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CMI900镀层测厚仪特点: 精度高、稳定性好 强大的数据统计、处理功能 测量范围宽 NIST认证的标准片 **服务及支持 技术参数 主要规格 规格描述 X射线激发系统 垂直上照式X射线光学系统 空冷式微聚焦型X射线管,Be窗 标准靶材:Rh靶;任选靶材:W、Mo、Ag等 功率:50W(4-50kV,0-1.0mA)-标准 75W(4-50kV,0-1.5mA)-任选 装备有安全防射线光闸 二次X射线滤光片:3个位置程控交换,多种材质、多种厚度的二次滤光片任选 准直器程控交换系统 较多可同时装配6种规格的准直器 多种规格尺寸准直器任选: -圆形,如4、6、8、12、20 mil等 -矩形,如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等 测量斑点尺寸 在12.7mm聚焦距离时,较小测量斑点尺寸为:0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm准直器) 在12.7mm聚焦距离时,较大测量斑点尺寸为:0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm准直器) 样品室 CMI900 CMI950 -样品室结构 开槽式样品室 开闭式样品室 -较大样品台尺寸 610mm x 610mm 300mm x 300mm -XY轴程控移动范围 标准:152.4 x 177.8mm 还有5种规格任选 300mm x 300mm -Z轴程控移动高度 43.18mm XYZ程控时,152.4mm XY轴手动时,269.2mm -XYZ三轴控制方式 多种控制方式任选:XYZ三轴程序控制、XY轴手动控制和Z轴程序控制、XYZ三轴手动控制 -样品观察系统 高分辨彩色CCD观察系统,标准放大倍数为30倍。50倍和100倍观察系统任选。 激光自动对焦功能 可变焦距控制功能和固定焦距控制功能 计算机系统配置 IBM计算机 惠普或爱普生彩色喷墨打印机 分析应用软件 操作系统:Windows2000中文平台 分析软件包:Smar