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X-Strata960测厚仪基于25年涂镀层测量经验,在CMI900系列测厚仪的坚实基础上,引进全新的设计: 新100瓦X射线管 - 市场上所能提供的较强大的X射线管。提高30%测量精度,同时减少50%测量时间 更小的X射线光斑尺寸 - 新增15mil直径准直器,可测量电子器件上更小的部位。提供改进的CCD摄像头及缩放装置,同时提供更高精度的Y轴控制。 距离独立测量(DIM) - 更灵活地特殊形状样品,可在DIM范围内12.5-90mm(0.5-3.5inch)对样品表面进行测量,Z轴可控制范围为230mm(9inch)。可通过手动调整也可以通过自动镭射聚焦来实现对样品的精确对准。 自动镭射聚焦 - 自动寻找振决的聚焦距离,改善DIM的聚焦过程并提高系统测量再现性。也可选择标准的镭射聚焦模式。 全新的大型测厚仪样品室 - 更大的开槽式测厚仪样品室(580x510x230mm : 23x20x9inch),开槽式设计可容纳**大尺寸的样品。可从各个方向简便的装载和观察样品。 3种测厚仪样品台选项 - XY程控控制(200x200mm或8x8inch移动范围)/XY手动控制(250x250mm或10x10英寸)/固定样品台;标准配置Z轴程控控制(230mm或9inch移动范围)。 测厚仪内置PC用户界面 技术参数 主要规格 规格描述 X射线激发和检测 牛津仪器制造的100瓦(50kV-2.0mA)微焦点钨靶X射线管 高分辨封气(Xe)正比计数器可获取较高的计数灵敏度,配合二次滤光器机构实现较佳的检出效果 数字脉冲处理 4096通道数字多道分析器,数字光谱处理过程可获取较高的信号采集(每秒计数量),从而保证较好的测量统计结果 手动或自动透镜控制 手动透镜控制:通过手动调整DIM旋钮控制分析聚焦距离 自动透镜控制:激光束自动寻找DIM系统的较佳分析聚焦距离 自由距离测定 简化系统设置和维护 在聚焦距离范围内仅需要一个校正 对不规则样品更灵活的测量 在12.7mm-88.9mm的自由距离内,可准确测量样品表面的任何一点 通过DIM旋钮或使用自动激光聚焦功能,可快速、准确的确定聚焦距离 附带自动透